SuperView W1系列光学3D表面轮廓仪是一款用于对各种精密器件及材料表面进行亚纳米级测量的检测仪器。它是以白光干涉技术为原理、结合精密Z向扫描模块、3D 建模算法等对器件表面进行非接触式扫描并建立表面3D图像，通过系统软件对器件表面3D图像进行数据处理与分析，并获取反映器件表面质量的2D、3D参数，从而实现器件表面形貌3D测量的光学检测仪器。
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SuperView W1系列光学3D表面轮廓仪可广泛应用于半导体制造及封装工艺检测、3C电子玻璃屏及其精密配件、光学加工、微纳材料及制造、汽车零部件、MEMS器件等超精密加工行业及航空航天、国防军工、科研院所等领域中。可测各类从超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物体表面，从纳米到微米级别工件的粗糙度、平整度、微观几何轮廓、曲率等，提供依据ISO/ASME/EUR/GBT四大国内外标准共计300余种2D、3D参数作为评价标准。
对各种产品、部件和材料表面的粗糙度、波纹度、面形轮廓、表面缺陷、磨损情况、腐蚀情况、孔隙间隙、台阶高度、弯曲变形情况、加工情况等表面形貌特征进行测量和分析。
型号 | W1 | W1-Ultra | |
光源 | 白光LED | ||
影像系统 | 1024×1024 | ||
干涉物镜 | 10×（可选2.5×、5×、20×、50×、100×） | ||
光学ZOOM | 0.5×（可选0.375×、0.75×、1×） | ||
标准视场 | 0.98×0.98mm（10×） | 1.1×1.1mm（10×） | |
物镜塔台 | 3孔手动，可选5孔电动 | ||
XY位移平台 | 尺寸 | 320×200mm | |
移动范围 | 140×100mm | ||
负载 | 10kg | ||
控制方式 | 手动和电动兼容型 | ||
水平调整 | ±5°，手动 | ||
Z轴聚焦 | 行程 | 100mm | |
控制方式 | 电动 | ||
Z向扫描范围 | 10 mm | ||
0.1nm分辨率时扫描速度 | 1.85μm/s | 8μm/s | |
形貌重复性STR*1 | 0.1nm | ||
粗糙度RMS重复性*2 | 0.005nm | ||
台阶测量*3 | 准确度：0.3% | ||
重复性：0.08% ，1σ | |||
仪器主机重量 | 140㎏ | ||
主机尺寸（长×宽×高） | 700×600×900mm | ||
环境条件 | 工作温度 | 0℃ ~30℃，温度梯度 < 2℃/60分钟 | |
相对湿度 | 5%-95%RH，无凝露 | ||
环境振动 | VC-C或更优 | ||
软件监控噪声*4 | 3σ≤4nm | ||
气浮隔振 | 0.6Mpa稳压清洁气源，除油、除水，气管直径6mm（若接客户端气源） | ||
电源 | 100-240VAC，50/60Hz，功率200W | ||
其他 | 无强磁场，无腐蚀气体 | ||
认证 | CE | ||
